Mask Light Develop

probert

Über dieses Spiel

Ein mit Fotolack beschichteter Wafer liegt unter der Lampe. Der schwache Schatten über dem Raster stellt das Muster dar, das aus dem Entwickler hervortreten soll. Durch Drücken und Ziehen wird der UV-Kopf über den Wafer bewegt: Die Zellen, über denen er sich befindet, werden belichtet, und die Dosis bleibt dort, wo sie sich befindet. Zellen, die zum Muster gehören, müssen in ihr Belichtungsfenster gebracht werden – zu wenig Licht, und sie öffnen sich nicht; zu viel Licht, und der Fotolack brennt durch, und der gesamte Wafer ist unbrauchbar. Zellen außerhalb des Musters müssen umfahren, nicht überfahren werden. Öffnen Sie alle Zellen, die zum Muster gehören, um den Wafer fertig zu belichten. Danach werden die Muster unregelmäßiger, das Belichtungsfenster schmaler und der Lampenfleck kleiner.