๋๋
ธ๊ธฐ์ ๊ธฐ์ด ์ฐ์ต ์ฑ์ ๋๋
ธ๊ธฐ์ ๊ธฐ์ด๋ฅผ ํํํ ๋ค์ง๊ณ ์ ํ๋ ํ์, ๊ต์ก์, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๊ฐ์ข
์ํ ์ค๋น์์ ์ํด ์ค๊ณ๋ ์ข
ํฉ์ ์ธ ๊ฐ๊ด์ ๋ฌธ์ ๊ธฐ๋ฐ ํ์ต ์ฑ์
๋๋ค. ์ด ์ฑ์ ๊ฐ๊ด์ ๋ฌธ์ ์ ๊ฐ๋
๊ธฐ๋ฐ ์ฐ์ต์ ์ค์ ์ ๋์ด ์ ์ธ๊ณ ๊ณตํ, ๊ณผํ, ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ ํ์ต์์๊ฒ ์ด์์ ์
๋๋ค.
๋๋
ธ๊ธฐ์ ๊ธฐ์ด ์ฐ์ต ์ฑ์ ์์ ๊ท๋ชจ์ ๊ฐ๋
๋ถํฐ ์ค์ ์์ฉ ๋ถ์ผ๊น์ง ๋๋
ธ๊ธฐ์ ์ ๊ธฐ๋ณธ ์๋ฆฌ๋ฅผ ๋ค๋ฃจ๋ฉฐ, ์ฌ์ฉ์๊ฐ ๋๋
ธ ๊ท๋ชจ์์ ๋ฌผ์ง์ ๊ฑฐ๋๊ณผ ์ด๋ฌํ ํน์ฑ์ด ํ๋ ๊ธฐ์ ์ ์ด๋ป๊ฒ ์ ์ฉ๋๋์ง ์ดํดํ ์ ์๋๋ก ๋์ต๋๋ค.
๐ ๋๋
ธ๊ธฐ์ ๊ธฐ์ด ์ฐ์ต ์ฑ์์ ๋ฐฐ์ฐ๊ฒ ๋ ๋ด์ฉ
๐น 1. ๋๋
ธ๊ธฐ์ ์๊ฐ
๋๋
ธ๊ธฐ์ , ๋๋
ธ ๊ท๋ชจ(1~100nm), ๋๋
ธ๊ณผํ ๊ฐ๋
, ํ์ ๊ฐ ํน์ฑ, ์ญ์ฌ์ ๋ฐ์ ๊ณผ์ , ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์ฒจ๋จ ๊ธฐ์ ์์์ ์ค์์ฑ์ ๋ํด ์ดํดํฉ๋๋ค.
๐น 2. ๋๋
ธ ๊ท๋ชจ์ ํน์ฑ
๋๋
ธ ๊ท๋ชจ์์ ํ๋ฉด์ ์ฆ๊ฐ, ์์ ํจ๊ณผ, ๊ธฐ๊ณ์ ๊ฐ๋, ๊ดํ์ ํน์ฑ, ์ด์ ํน์ฑ, ์ ๊ธฐ ์ ๋๋ ๋ฑ์ด ์ด๋ป๊ฒ ๋ค๋ฅธ์ง ํ์ตํฉ๋๋ค.
๐น 3. ๋๋
ธ๋ฌผ์ง์ ์ข
๋ฅ
๋๋
ธ์
์, ๋๋
ธํ๋ธ, ๋๋
ธ์์ด์ด, ๋๋
ธํ๋ฆ, ์์์ , ๋๋
ธ๋ณตํฉ์ฌ๋ฃ ๋ฑ ์ค์ ์์ฉ ์ฌ๋ก์ ๋ํ ๊ฐ๊ด์ ๋ฌธ์ ๋ฅผ ํ์ด๋ณด์ธ์.
๐น 4. ํฉ์ฑ ๋ฐฉ๋ฒ
ํ๋ค์ด ๋ฐฉ์๊ณผ ๋ฐํ
์
๋ฐฉ์, ํํ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ, ์กธ-๊ฒ๋ฒ, ๊ธฐ๊ณ์ ๋ถ์, ์๊ฐ ์กฐ๋ฆฝ ๊ธฐ์ ์ ๋ํ ์ง์์ ์ ๊ฒํด ๋ณด์ธ์.
๐น 5. ํน์ฑ ๋ถ์ ๊ธฐ๋ฒ
SEM, TEM, AFM, X์ ํ์ , ๋ถ๊ด๋ฒ, ์
์ ํฌ๊ธฐ ๋ถ์ ๋ฑ์ ๊ฐ๊ด์ ๋ฌธ์ ๋ฅผ ํตํด ์ดํด๋ณด์ธ์.
๐น 6. ๋๋
ธ๊ธฐ์ ์ ์์ฉ ๋ถ์ผ
๋๋
ธ๊ธฐ์ ์ด ์ํ, ์ ์, ์๋์ง ์์คํ
, ํ๊ฒฝ ๋ณดํธ, ์ฌ์ , ์ํ ์ฐ์
๋ฑ ๋ค์ํ ๋ถ์ผ์ ์ด๋ป๊ฒ ์ ์ฉ๋๋์ง ์์๋ณด์ธ์.
๐น 7. ๊ฑด๊ฐ, ์์ ๋ฐ ์ค๋ฆฌ
๋๋
ธ์
์์ ๋
์ฑ, ํ๊ฒฝ ์ํฅ, ์ฐ์
์์ , ๊ท์ ์ง์นจ, ์ค๋ฆฌ์ ๋ฌธ์ , ์ํ ํ๊ฐ์ ๋ํด ์ดํดํด ๋ณด์ธ์.
๐น 8. ๋ฏธ๋ ๋ํฅ ๋ฐ ๊ณผ์
๋๋
ธ์ ์๊ณตํ, ๋๋
ธ์ํ, ์ง์๊ฐ๋ฅํ ๋๋
ธ๊ธฐ์ , ํ์ฅ์ฑ ๋ฌธ์ , ๋น์ฉ ์ ๊ฐ, ์ตํฉ ์ฐ๊ตฌ ๋ฑ ๋ฏธ๋ ๋ํฅ์ ์ง์์ ์ผ๋ก ํ์
ํ์ธ์.
๐ ๋๋
ธ๊ธฐ์ ๊ธฐ์ด ์ค์ต์ ์ ํํด์ผ ํ๋ ์ด์
โ
๊ฐ๊ด์ ๋ฌธ์ ๊ธฐ๋ฐ ์ฐ์ต
โ
์ฒด๊ณ์ ์ธ ํ์์ผ๋ก ๋๋
ธ๊ธฐ์ ๊ธฐ์ด๋ฅผ ๋ค๋ฃน๋๋ค
โ
๊ณตํ ๋ฐ ๊ณผํ ์ ๊ณต ํ์์๊ฒ ์ด์์ ์
๋๋ค
โ
๊ฐ๊ด์ ์ํ, ํด์ฆ, ๋ฉด์ ์ ์ ์ฉํฉ๋๋ค
โ
๊ตญ์ ๊ต์ก๊ณผ์ ๋ฐ ์ ๋ฌธ ๊ธฐ์ ๊ต์ก๊ณผ์ ์ ์ง์ํฉ๋๋ค
โ
๊น๋ํ๊ณ ๊ฐํธํ๋ฉฐ ํ์ต์ ์นํ์ ์ธ ์ธํฐํ์ด์ค
โ
๋น ๋ฅธ ๋ณต์ต ๋ฐ ๊ฐ๋
๊ฐํ์ ๋์์ด ๋ฉ๋๋ค
๐ฏ ํ์ฉ ๋์:
๊ณตํ ์ ๊ณต ํ์ (๋๋
ธ๊ธฐ์ , ์ฌ๋ฃ๊ณผํ, ๊ธฐ๊ณ๊ณตํ, ํํ๊ณตํ)
๊ณผํ ํ์ ๋ฐ ์ ๋ฌธ๋ํ ๊ณผ์
๊ฒฝ์ ์ํ ๋ฐ ๊ฐ๊ด์ ์ํ
๋ํ๊ต ํ๊ฐ
๊ต์ก์ ๋ฐ ์๊ธฐ ํ์ต์
๊ธฐ์ ์ ํธ๊ฐ
๋๋
ธ๊ธฐ์ ๊ธฐ์ด ์ฐ์ต ๋ฌธ์ ๋ฅผ ํตํด ์ง์ค์ ์ธ ๊ฐ๊ด์ ๋ฌธ์ , ๊ฐ๋
๊ฐํ, ์ํ ๋๋น ์ฐ์ต์ ํตํด ๋๋
ธ๊ณผํ์ ๋ํ ์ดํด๋ฅผ ๋์ผ ์ ์์ต๋๋ค.
๐ฅ ์ง๊ธ ๋ฐ๋ก ๋๋
ธ๊ธฐ์ ๊ธฐ์ด ์ฐ์ต ๋ฌธ์ ๋ฅผ ๋ค์ด๋ก๋ํ๊ณ ์์ ๊ฐ ์๊ฒ ๋๋
ธ๊ณผํ์ ํ๊ตฌํด ๋ณด์ธ์.
์
๋ฐ์ดํธ ๋ ์ง
2025. 12. 14.