Нанотехнологии и наноматериалы в радиоэлектронике
jun 2024 · ЛитРес
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Рассматривается основное направление развития нанотехнологии в электронике. Сделан подробный обзор технологий получения наноматериалов: нанопорошков, углеродных нанотрубок, фуллеренов, графенов, кремния на изоляторе, фотонных кристаллов. Изложены основные свойства применяемых в наноэлектронике материалов; описаны методы применения их в полупроводниковых приборах и системах.Для студентов электротехнических и радиотехнических специальностей и специалистов, разрабатывающих наноустройства.
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